清华大学电子工程系微纳光电子实验室研发超高精度垂直度测量仪器

清华大学电子工程系微纳光电子实验室最近研发出一款超高精度的垂直度测量仪器，该仪器将在微纳光电子领域的研究和应用中发挥重要作用。

技术原理

这款垂直度测量仪器采用了先进的激光干涉技术，能够实现纳米级甚至亚纳米级的精度。通过测量光的相位变化，可以精确地计算出样品表面的垂直度，为微纳光电子器件的研制和生产提供可靠的数据支持。

应用领域

该仪器将广泛应用于微纳光电子器件的研究和生产过程中，如光通信器件、激光器件、光电传感器等领域。通过测量样品表面的垂直度，可以提高器件的加工精度和稳定性，从而推动微纳光电子技术的发展。

未来展望

随着微纳光电子技术的快速发展，对垂直度测量精度的要求也越来越高。清华大学电子工程系微纳光电子实验室将继续致力于研发更先进、更精密的测量仪器，为微纳光电子领域的发展做出更大的贡献。

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